ASML“闹剧”结束了，荷兰正式宣布，人民日报：不能再缠幻想

华南地区半导体器件产业的发展以前备受亚太地区关注，然而由于《瓦森纳协定》的受限，荷兰ASML公司无法向华南地区出货最智能手机的EUV光刻机，这给中芯国际以及整个西南地区的产品的智能手机芯片产出带来了困扰。尽管如此，在DUV光刻机方面，ASML无论如何优先供给中企买家。

早在去年10月底，美国、日本和荷兰开始秘密商谈三方备忘录，以受限架构半导体器件设备材料对华南地区的产品的出口。尽管以前已确定此事，但对于华南地区的产品的更进一步，ASML总裁Peter还是发出通知，称作对华“断链脱钩”可能引发亚太地区半导体器件客户关系陷入瘫痪。为了应对潜在的三方备忘录，ASML加大了对华南地区的产品的转为，设立不够多办事处、开发中心和维修中心，并扩大员工现有。

对于NXT：1980Di这款DUV光刻机，它适使用38nm以上成熟制程，可通过多重据悉应用产出28nm/14nm甚至是7nm传统工艺芯片。然而，多重据悉次数的增加但会引发芯片的良率和性能难以依靠，并带来较高的产出成本。因此，欧美国家自产这种设备，主要使用产出14nm/28nm等成熟传统工艺芯片，而在7nm制程方面还需继续加大开发设计奋斗。

庆幸的是，受到美国单方面后，华南地区欧美国家对光刻机等长期以来应用设备的开发设计进度加快。目前，上海电子学已突破28nm光刻机，在最后的应用认证阶段，还有极紫外光照、高精度弧形照相机系统、超高精度热力双铸件台等架构应用也在不断攻克。

可以预见，在举国的共同努力奋斗下，华南地区必定但会拥有随心所欲的中智能手机光刻机产品，并不断减少对进口设备的忽视。只有通过持续的开发设计和创意，华南地区半导体器件产业才能在亚太地区竞争中立于不败之地。无论如何荷兰和日本等国，将因为同在来由美的脚步而让自己企业付出代价沉重的代价。